真空腔体加工中的检漏主要有三种：氦质谱、真空密封法和真空计法。下面详细介绍这三种方法。

一、氦质谱检漏

这种检漏方法是真空腔体加工检漏领域不可缺少的技能。它具有检漏效率高、操作简单、仪器响应灵敏、精度高、不受其他气体干扰等优点，在真空检漏中得到广泛应用。氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的气密性检测仪，采用氦作为气体泄漏指示器。它由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规和收集器、泵送系统和电气部件组成。质谱室中灯丝发出的电子在室内来回振荡，与通过漏孔进入室内的室内气体和氦气碰撞，使其电离成正离子。这些氦离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下发生偏转，从而形成圆弧轨迹。改变加速电压可以使不同的离子通过磁场和接收槽到达接收电极并被检测到。同时，氦注入法和氦吸收法是真空腔体加工氦质谱检漏的两种常用方法。

二、真空密封检测方法

用真空泥浆密封可疑泄漏。这时，注意观察真空度的变化。如果贴真空泥后真空度迅速上升，去掉后会明显下降，说明是泄漏。然而，这种方法在实际测试中很少使用

三、真空计检漏方法

一些真空计的读数与气体的类型有关，如电离真空计和热电偶真空计。真空腔体加工使用合适的气体或液体作为泄漏指示器，这些真空计成为检测器，真空计通常在涂布机上发现，这也是实际使用中常见的泄漏检测方法。热电偶仪表的泄漏物质包括二氧化碳、丁烷、酒精等。热电偶表响应慢，需要仔细观察。电离计中使用的泄漏指示器主要有氦气、氩气、酒精等。

真空腔体加工在日常生活中需要保护和维护时，应该特别注意的常见问题是，真空腔体在运行时会受到部分损坏，因此我们需要进行保护和维护。