随着真空腔体加工技术的发展，真空应用正在扩展到工业和科学研究的各个方面。真空应用是指利用稀薄气体的物理环境来完成一些特定的任务。有些产品或设备就是利用这种环境制造的，比如灯泡、电子管等。这些产品在使用过程中总是保持真空，而其他产品只把真空作为生产的一个步骤。真空腔体加工用于大气环境，如真空镀膜、真空干燥、真空浸渍等。

常用的真空腔体清洗溶剂包括含洗涤剂的水、石油馏分、稀酸、碱、有机溶剂、各种金属清洗剂等。根据表面附着的不同，清洗需要不同的溶剂。比如铁锈需要酸性金属清洗剂，矿物油需要有机溶剂。下面就来看看真空腔体加工的清洗方法吧。

1.超声波清洗

超声波清洗是利用超声波在液体中的空化效应、直接流入效应，使污垢层分散、乳化、剥离，达到清洗目的。

2.电解腐蚀清洗

电解侵蚀清洗，类似于电解抛光，是指利用溶剂中的电解作用去除金属零件表面的薄锈或氧化膜等污染物，真空腔体加工主要用于化学稳定性高的合金零件，如不锈钢、耐热钢等。

3.蒸汽脱脂清洗

蒸汽脱脂是指对被粘物表面的用餐剂蒸汽进行持续清洗，达到脱脂的目的。适用于清洗表面的脂质膜和油脂膜，操作方法简单，可以完成批量清洗。擦拭或超声波清洗后，一些附着性强或污染严重的基材可以用蒸汽脱脂真空腔体加工进行清洗，可以达到良好的清洗效果。

4.放电清洗

放电清洗一般用于高真空和真空腔体加工清洗。放电清洗的效果取决于电机数据、几何形状及其与外观的关系。电子轰击气体的使用构成了某些碳氢化合物的解吸和去除。

5.用氮气清洗

氮气清洗主要利用氮气在数据表面吸附热小、停留时间短、排空简单的特点，用氮气冲洗被污染的真空系统，抢占水蒸气等其他气体分子的附着空间，缩短真空系统的抽气时间。